松村石油高機能O-リング 松村石油は35年以上にわたる豊富な実績で、あらゆるニーズにご満足いただけるシール材を提供いたします。 松村石油ホームページ： クリック 【パーフロ製品特徴】 バーレルパーフロＯリングは半導体、液晶製造装置やあらゆる業界の長期良好なシール性をお約束いたします。 （注）バーレルパーフロは人体への移植などを伴う医療用途への使用は、すべて禁止します。 ご使用に際しては、重大な損失を引き起こす可能性のある場合を含め、貴社において適合性試験を実施されることをお勧めいたします。
．耐溶剤性、耐ガス性に優れます。 ．摺動等の物理的ストレスが、他のタイプに比較し安定し います。 ．主にチャンバー外のガスライン、ウエットエッチング及 CVD装置に使用されます。 ．アミン、スチームに耐性があります。 ．黒色タイプです。
．75Bに比べ、伸び/強度/耐熱性を向上させたものです。 ．その他の特性は75Bと同様です。 ．黒色タイプです。
．75Bに比べ耐熱性を向上、引っ張り強さの改善をしてい ます。 ．耐スチーム性及び耐熱水に優れています。 ．黒色タイプです。
．熱水、高温スチーム等高温環境下で使用可能です。 ．300℃までの高温耐久性を実現しました。 ．アウトガス性良好です。 ．アミン、NMPに耐性があります。 ．黒色タイプです。
．300℃までの高温耐久性を実現しています。 ．圧縮永久歪良好です。 ．アウトガス性良好です。 ．熱水、高温スチーム及びアミン環境には注意を要しま す。 ．黒色タイプです。
．黒色タイプに比べ、プラズマ環境下でもパーティクルの 発生が極めて少なくなっています。 ．温度的には200℃以下での使用が望ましいです。 ．主にドライエッチングのチャンバー内で使用されます。 ．白色タイプです。
．ノンパーティクルグレード（充填剤を一切含みません） です ．硬度が低いため、高温で使用すると変形する場合があり ます。 ．O2に対して非常に良好です。 ．のぞき窓等の固定部に適しています。 ．クリアータイプです。
．クリアータイプのノンパーティクル性をキープし硬度を 挙げたタイプです。 ．特にパーティクルを嫌う高集積回路のドライエッチング 及び液晶装置のエッチング・アッシングのようにガス 量の多い装置に最適です。 ．クリアータイプ同様重金属を一切含んでいないため腐食 も起こりません。 ．特にマイクロウエーブの装置に効果があります。 ．白色タイプです。
．70Pと同等の特性を有します。 ．CVD工程において重量減少が最も少なく、特にNF3 、O2に耐性あります。 ．白色タイプです。
．MSP2と同等の特性を有します。 ．優れた物理的特性により，動的シールとしての使用に最 適です。 ．白色タイプです。
．SPZと同等の特性を有します。 ．SPαは硬度70°です。 ．白色タイプです。
【ノンパーフロ製品特徴】 パーフロではない材質でありながら、あらゆる使用場所において最適な効果を発揮します。 （注）人体への移植などを伴う医療用途への使用は、すべて禁止します。 ご使用に際しては、重大な損失を引き起こす可能性のある場合を含め、貴社において適合性試験を実施されることをお勧めいたします。
．ノンパーフロ系の中でO2に最も安定性を有していま す。 ．フィラーには、カーボンを使用していない為、低パーテ ィクル性を実現しています。
．酸素系、フッ素系ガスに耐性が有ります。 ．優れた物理特性により、動的シールとしての使用に最適 です。 ．フィラーには、重金属などを使用していない為、低パー ティクル性を実現しています。
．特殊フィラーを配合した非粘着タイプです。 ．FKM-70に比較し、ドライエアー環境下で約1/10の低パ ーティクル性を保持します。
．汎用のフッ素ゴムに比較し耐熱性向上（約275℃での連 続使用可能）しています。 ．耐油性、耐薬品性、強度はFKM-70とほぼ同じです。
．耐スチーム、熱水性が良好です。 ．耐薬品性（主に無機酸）に優れています。（注： アミン系に使用不可です。） ．機械的特性が良好（FKM-70に比べ高強度）です。
．導電性（108～104）付与していますが、帯電防止（静 電気防止）の目的にお使い下さい（過大な電流が流れ ますと、火災の原因となります) ．その他の特性はFKMと同じです。
．ノンパーフロ系のなかで、耐アミン性が最も優れていま す。 ．ウエットプロセスにおけるレジスト剥離装置のシール材 に最適です。
FKM-70、EPDM、NBR、シリコン、フロロシリコン他
