松村石油高機能O-ring 松村石油憑藉超過35年的豐富實績，提供滿足客戶需求的密封材料。 日本松村石油官網： 點此進入 【Perfluoro產品特徵】 Barrel Perfluoro O-ring在半導體．液晶製造設備及各業界中，皆具有長期良好的密封性能。 （註）全面禁止將Barrel Perfluoro用於人體移植等醫療用途。 建議貴司在使用前，應考量重大損失風險等可能因素，進行符合性測試評估。
．優越的耐溶劑、耐氣體特性。 ．滑動等物理性壓力較其他規格穩定。 ．主要用於Chamber外之氣體管路、濕蝕刻及CVD裝置。 ．對胺類、蒸氣具有良好耐受性。 ．顏色為黑色。
．與75B相比，提升其延展性、強度、耐熱性。 ．其他性能與75B相同。 ．顏色為黑色。
．與75B相比，提升耐熱性，改善拉伸強度。 ．優越的耐蒸氣、耐熱水特性。 ．顏色為黑色。
．可使用於熱水、高溫蒸氣等高溫環境下。 ．高溫耐久性可達300℃。 ．耐揮發性良好。 ．對胺類、NMP具有良好耐受性。 ．顏色為黑色。
．高溫耐久性可達300℃。 ．耐壓縮變形特性良好。 ．耐揮發性良好。 ．在熱水、高溫蒸氣及胺類環境下使用時需注意。 ．顏色為黑色。
．與黑色規格相比，在電漿環境下極少產生Particle。 ．建議使用溫度為200℃以下。 ．主要用於乾蝕刻的Chamber內，適合用於DRY·CVD工程 ．具耐活性氣體、低Particle特性。 ．顏色為白色。
．無塵等級。（不含任何填充劑、重金屬） ．硬度低，使用於高溫時可能會發生變形。 ．適用於O2。 ．適用於視窗等固定部。 ．顏色為透明。
．具透明規格的無塵特性，且提升硬度。 ．特別適合用於無塵環境的高積體電路乾蝕刻、液晶乾蝕 刻、灰化等氣體量多的設備。 ．不含任何重金屬，不會造成腐蝕。 ．適合用於微波設備。 ．顏色為白色。
．與70P性能相同。 ．在CVD工程中，與其他規格相比，重量減少程度最少。 ．尤其具耐NF3、O2特性。 ．顏色為白色
．與MSP2性能相同。 ．由於優越的物理特性，適合作為動態密封環來使用。 ．顏色為白色。
．與SPZ性能相同。 ．硬度高達70度。 ．顏色為白色。
【Non Perfluoro產品特徵】 非全氟材質，但在所有使用領域皆可發揮最佳效能。 （註）全面禁止將Barrel Perfluoro用於人體移植等醫療用途。 建議貴司在使用前，應考量重大損失風險等可能因素，進行符合性測試評估。
．在Non Perfluoro系列中，對O2最具穩定性。 ．填充劑中因無使用Carbon，具低Particle特性。
．具耐酸素、氟素類氣體特性。 ．由於具備優越的物理特性，適合作為動態密封環來使用。 ．填充劑中因無使用重金屬等，具低Particle特性。
．填充劑為特殊材料，具非粘著特性。 ．與FKM-70相比，在Dry Air環境下實現約1/10的低 Particle特性。
．與泛用氟素產品相比，提升其耐熱性。 （可在275℃環境連續使用） ．具耐油、耐藥品特性，強度與FKM-70相近。
．良好的耐蒸氣、耐熱水特性。 ．優越的耐藥品性（主要為無機酸）。 （註：不可使用於胺類） ．良好的機械特性。（強度較FKM-70高）
．雖具導電性(108~104)，使用目的請以抗靜電（防靜電） 為主。（若電流過大，恐導致火災） ．其他性能與FKM相同。
．在Non Perfluoro系列中，具最優越的耐胺特性。 ．適合做為濕製程光阻剝離設備的密封材。
FKM-70、EPDM、NBR、Silicone、Fluoro Silicone等
